近日，江苏省工业和信息化厅公示2023年江苏省首台（套）重大装备拟认定企业，我区亚电科技的半导体湿法刻蚀清洗设备成功入选。

“首台（套）”是“首台（套）重大技术装备”的简称，指经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，具有知识产权但尚未取得市场业绩的首台套或首批次的装备、系统和核心部件，是代表行业和企业发展水平的重要标准之一。江苏亚电科技有限公司DF-3000B 12英寸槽式半导体湿法刻蚀清洗设备采用了自适应供补液、加热、浓度、流量、压力自动控制、均匀化兆声波清洗、先进的干燥技术，拥有完全自主知识产权，可应用于半导体晶圆表面杂质清洗，该设备攻克了晶圆刻蚀清洗自适应供补液等核心技术，实现我国高端半导体设备核心技术的完全国产化，有效破解半导体制备技术“卡脖子”关键技术难题。

研发、应用“首台套”既是实现装备高端化、智能化的有力手段，也是解决关键技术“卡脖子”问题、关键领域实现自主可控的重要途径。近年来，区工信局持续聚焦重点、优化服务，不断推动自主创新重大装备快速发展，促进企业制造装备升级和互联网化提升，目前我区已认定省首台（套）重大装备11个，体现了我区在高端装备制造领域的创新能力和研制水平。

下一步，区工信局将继续鼓励企业进行自主创新，积极引导企业开展重大技术装备首台（套）研制，加快首台（套）重大技术装备推广应用，推动装备制造业高质量发展。